一、潔凈室氣密性檢測方法原理

1. 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

2. 可按以下方法進行檢測：

      （1） 壓力衰減法

      使室內達到某一壓力（正壓或負壓），關閉加壓或抽負壓系統，觀察壓力隨時間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。

      （2） 恒壓法

      使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

二、壓力衰減法

1. 測試系統如圖G.2.1所示。

2. 可按以下步驟進行檢測

      （1） 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化（溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。

      （2） 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管（或排風管）上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。

      （3） 開啟送風，使室內壓力上升至已商定的測試壓力（壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa），壓力穩定后，停止送風，關閉送風閥門。

圖G.2.1 壓力衰減法系統

1-潔凈室；2-送風機；3一調節閥；4-密閉閥；5--微壓計；6一排風機

      （4） 或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風，使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風，關閉排風氣密閥門。

      （5） 從停止送（排）風起，記錄壓力隨時間衰減的數據，每1min記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。

      （6） 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態。

      （7） 如果需要進行重復測試，20min后進行。

      （8） 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

3. 檢測報告應包括以下內容：

      （1） 檢測條件，包括室內溫度等。

      （2） 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；所測潔凈室壓力、溫度的動態變化；檢測持續的時間。

      （3） 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1／2時的時間內壓力衰減率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。

三、恒壓法

1. 測試系統如圖G.3.1所示。

圖G.3.1 恒壓法測試系統

1-潔凈室；2-送風機；3-調節閥；4-密閉閥；5-微壓計；6-排風機；7-氣泵；8-流量計；9-真空泵

      注：正壓檢驗時用氣泵，負壓檢驗時用真空泵

2. 可按以下步驟進行檢測：

      （1） 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄測試過程中室內溫度的變化（溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。

      （2） 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管（或排風管）上的閥門，如果風管上無閥或閥不嚴，應在回風口（或排風口）上用塑料膜加盲板的方法封住風口。

      （3） 開啟送風，使室內壓力上升至500Pa，停止送風，關閉送風閥門。

      通過圍護結構上的孔洞和導管，由送風機或空氣壓縮機向室內補氣，通過調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量，以維持潔凈室內的壓力穩定不下降，每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續的時間宜不超過5min，取平均值。

      （4） 反之關閉送風閥，開啟排風，當內壓力下降至-500Pa時關閉排風，開啟真空泵保持室內壓力，記錄真空泵抽氣量，此數即漏泄量。

      （5） 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態。

      （6） 如果需要進行重復測試，20min后進行。

      （7） 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

3. 檢測報告應包括以下內容：

      （1）檢測條件，包括室內溫度等。

      （2） 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；室內溫度的動態變化；漏泄量的動態變化。

      （3） 檢測結果包括所測潔凈室5min內的每小時漏泄率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。

四、潔凈室氣密性檢測安全要求

1.  應制定防范預案。

2.  必須對被檢驗室內的溫度進行監測。

3.  恒壓法測試持續時間不宜太長。