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潔凈室微粒計數濃度檢測方法

發布時間:2022-06-05 17:33人氣:

潔凈室微粒計數濃度檢測方法如下:

1. 室內檢測人員應控制在最低數量,不宜超過2人,面積超過100m2又需快速完成測定任務時,可適當增加人數。人員必須穿潔凈服,應位于測點下風側遠離測點,動作要輕,保持靜止。

2. 0.1μm至5μm微粒的檢測應符合以下要求:

      (1) 當采用光學粒子計數器(OPC)測定0.1μm至5μm的微粒計數濃度時,應按《GB 50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》第16.4.5條第1款給出的公式計算空氣潔凈度級別。粒子計數器粒徑分辨率應小于等于10%,粒徑設定值的濃度允許誤差應為±20%,并應按所測粒徑進行標定,符合現行國家標準《塵埃粒子計數器性能試驗方法》GB/T 6167的規定。

      (2) 測點數可按式(E.4.2-1)求出:

 公式E.4.2-1.jpg

式中:nmin——最少測點數(小數一律進位為整數);

          A——被測對象的面積(㎡);對于非單向流潔凈室,指房間面積;對于單向流潔凈室,指垂直于氣流的房間截面積;對于局部單向流潔凈區,指送風面積。

      測點數也可按表2-1選用。

表2-1 測點數選用表

面積(㎡)

潔凈度

5級及高于5級

6級

7級

8~9級

<10

2~3

2

2

2

10

4

3

2

2

20

8

6

2

2

40

100

16

40

13

4

2

32

10

3

200

80

63

20

6

400

160

126

40

13

1000

400

316

100

32

2000

800

623

200

63

      (3) 每一受控環境的采樣點不宜少于3點。對于潔凈度5級及優于5級以上的潔凈室,應適當增加采樣點,并得到用戶(建設方)同意并記錄在案。

      (4) 采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個面積內,并位于工作區高度(取距地0.8m,或根據工藝協商確定),當工作區分布于不同高度時,可以有1個以上測定面。

亂流潔凈室(區)內采樣點不得布置在送風口正下方。

      (5) 如建設方要求增加采樣點,應對其數目和位置協商確定。

      (6) 每一測點上每次的采樣必須滿足最小采樣量。最小采樣量根據“非零檢測原則”由下式求出:

 公式E.4.2-2.jpg

      式中:濃度下限單位為粒/L。

                每次采樣最小采樣量按表2-2選用。

表2-2 最小采樣量

潔凈度等級

不同等級下,大于等于所采粒徑的最小采樣量

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1級濃度下限/(粒/m3

1

0.24

-

--

-

-

采樣量/L

3000

12500

-

-

-

-

2級濃度下限/(粒/m3

10

2.4

1

0.4

-

-

采樣量/L

300

1250

3000

7500

-

-

3級濃度下限/(粒/m3

100

24

10

4

-

-

采樣量/L

30

125

294

750

-

4級濃度下限/(粒/m3

1000

237

102

35

8

-

采樣量/L

3

12.7

29.4

86

375

-

5級濃度下限/(粒/m3

10000

2370

1020

352

83

-

采樣量/L

2

2

3

8.6

36

-

6級濃度下限/(粒/m3

100000

23700

10200

3520

832

29

采樣量/L

2

2

2

2

3.6

102

續表2-2

潔凈度等級

不同等級下,大于等于所采粒徑的最小采樣量

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

7級濃度下限/(粒/m3

-

-

35200

8320

293

采樣量/L

-

-

-

2

2

10.2

8級濃度下限/(粒/m3

-

-

352000

83200

2930

采樣量/L

-

-

-

2

2

2

9級濃度下限/(粒/m3

-

-

-

3520000

832000

29300

采樣量/L

-

-

2

2

2

      注:表中最小采樣量取到2 L,用2.83 L/min計數器時,則實際最小采樣量大于2 L。表中最小采樣量大于2.83 L的,可用2.83 L/min計數器采樣多于1 min,或用28.3 L/min計數器采樣1 min,余類推。

      (7) 每點采樣次數應滿足可連續記錄下3次穩定的相近數值,3次平均值代表該點數值。

      (8) 當懷疑現場計算出的檢測結果可能超標時,可增加測點數。

      (9) 測單向流時,采樣頭應對準氣流;測非單向流時,采樣頭一律向上。

      (10) 當要求0.1 μm~5 μm微粒在采樣管中的擴散沉積損失和沉降、碰撞沉積損失小于采樣濃度的5%時,水平采樣管長度也應符合附錄D.3.6條的規定。

      (11) 若采樣口流速與室內氣流速度不相等,其比例應在0.3:1~7:1之間。

      (12) 當因測定差錯或微粒濃度異常低下(空氣極為潔凈)造成單個非隨機的異常值,并影響計算結果時,允許將該異常值刪除,但在原始記錄中應注明。

      每一測定空間只許刪除一次測定值,并且保留的測定值不少于3個。

      (13)對于需要很大采樣量、耗時很大的某粒徑微粒的檢測,可采用順序采樣法,即將每次測定結果標注于圖E.4.2上,當標注點落入不合格區時,即停止檢測,結果為不達標;當標注點落入合格區時,停止檢測,結果為達標;當標注點一直在繼續區中延伸,而總采樣量已達到表2-2的最小采樣量,累計微粒數仍小于20,即停止檢測,結果為達標;當標注點一直在繼續區中延伸,而總采樣量未達到最小采樣量,但累計微粒數已超過20,即停止檢測,結果為不達標。

圖E.4.2.jpg

3. 對小于0.1μm的超微粒的檢測,應采用適合這類微粒具體特性的采樣裝置組合使用??刹捎媚Y核計數器(CNC或CPC)加靜電式分級器(遷移率分析儀)(DMA)、凝結核計數器(CNC或CPC)加擴散式分級器(DB)等,但必須有明確的性能說明書,或有自檢報告,對所測超微粒的最低粒徑的計數效率應達到50%,采樣點數目應與2條對0.1 μm~5 μm的要求相同。

4. 大于5μm的大(宏)微粒的檢測應符合下列要求:

      (1) 用光學粒子計數器檢測時應遵守下列規定:

      1)粒子計數器應經過大微粒的標定,符合現行國家標準《塵埃粒子計數器性能試驗方法》GB/T6167的規定,對潔凈室為6級或優于6級的潔凈室的測定,應采用不小于28.3L/min的計數器,對其他級別潔凈室的潔凈度應采用不小于2.83L/min的計數器;

      2)當用28.3L/min計數器時,水平管不應長過0.5m,當用2.83L/min計數器時,原則上不宜有水平管;

      3)采樣口面積應按等速采樣原則確定,室內風速取平均風速。

      (2)用過濾器采集、顯微鏡檢測時,應遵守下列規定:

      1)過濾器為孔徑應小于等于2μm的濾膜。當過濾器采樣口直徑為25mm時,真空泵采樣流量不小于7L/min,當過濾器采樣口直徑為47mm時,采樣流量不小于28.3L/min。對于非單向流潔凈室,總采樣量不小于28.3L/min,對于單向流潔凈室,總采放量不小于280L/min。

      取下濾膜,將濾膜放在清潔的蓋玻片上(圖E.4.4),采樣面向上,放進有50℃左右丙酮蒸汽的燒杯內熏蒸。對容積為600mL的燒杯,大約加入15mL丙酮,當做過3次樣片時,再加入15mL丙酮,待濾膜透明后取出,再將蓋玻片反向固定在載物片上(用鋁箔圈或紙圈將蓋玻片與載物片隔開),熏后在蓋玻片四周用膜或蠟封住。

 圖E.4.4.jpg

      2)計數時應把制好的標本片固定在顯微鏡(100倍)工作臺的適合位置上,一張標本片上計數總面積不小于0.02×4mm2,在檢測中應不斷調整。  

3)測定之前,必須先測出使用的同一批濾膜的基數密度,最后的計數濃度由下式得出:

 公式E.4.4.jpg

      式中:

      C0——濾膜基數密度(粒/mm2);

      C1——采樣后計數的總采樣粒數(粒);

      f0——濾膜有效面積(mm2);

      f1——采樣后計數的總面積(mm2);

      q——采樣流量(L/min);

      t——采樣時間(min)。


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