1 有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1）在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。

      （2）潔凈室與周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。

      （3）應(yīng)測(cè)定潔凈廠房?jī)?nèi)、外各類振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

2 精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí)，可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

3 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)具備下列條件：

      （1）周圍振源對(duì)其綜合影響的振動(dòng)數(shù)據(jù)。

      （2）設(shè)備、儀器儀表的型號(hào)、規(guī)格及輪廓尺寸圖。

      （3） 設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

      （4）設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。

      （5）設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。

      （6）設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。

      （7）所選用或設(shè)計(jì)的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。

4 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

      (1) 隔振臺(tái)座應(yīng)具有足夠的剛度。

      (2) 隔振臺(tái)座應(yīng)采取傾斜校正措施。

      (3) 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。

      (4) 隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。

5 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對(duì)供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理。