一、防靜電與接地設計一般要求
1. 潔凈廠房應根據生產工藝要求設置防靜電環境。防靜電環境設計應滿足抑制或減少靜電的產生，以及將已產生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。
2. 防靜電環境設計應按電子產品或生產工序（設備）進行分級。防靜電環境內靜電電位絕對值應小于電子產品的靜電電位安全值。防靜電環境設計應分為三級，防靜電環境設計分級適用場所應符合表1的要求。
表1 防靜電環境設計分級適用場所
防靜電級別 | 靜電電位絕對值V | 適用場所 |
一級 | ≤100 | 1 半導體器件、集成電路、平板顯示器制造和測試的場所 2 電子產品生產過程中操作Ⅰ級靜電敏感器件制造和測試的場所 |
二級 | ≤200 | 1 靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所 2 靜電感電子器件制造和測試的場所 |
三級 | ≤1000 | 除一級、二級場所以外的電子器件和整機的組裝、調試場所 |
二、防靜電接地設計要求
1. 潔凈廠房內金屬物體包括潔凈室（區）的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架，應與接地系統做可靠連接，導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。
2. 靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩定性，其主干線截面不應小于95mm2，支線最小截面應為2.5mm2。
3. 與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。
4. 對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道，應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。
