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電子工業潔凈廠房空氣凈化和空調通風設計一般規定

發布時間:2022-06-01 16:25人氣:

電子工業潔凈廠房空氣凈化和空調通風設計一般規定如下:

1. 潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級,應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

2. 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。

3. 有下列情況之一者,凈化空調系統宜分開設置:

      (1)運行班次或使用時間不同;

      (2)生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染,對產品質量或操作人員健康、安全有影響;

      (3)對溫、濕度控制要求差別大;

      (4)潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊;

      (5)凈化空調系統與一般空調系統,

      (6)系統風量過大的凈化空調系統。

4. 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合《GB 50472-2008 電子工業潔凈廠房設計規范》第3.2.3條的規定。

5. 潔凈室(區)內的新鮮空氣量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

6. 潔凈室(區)與周圍的空間應保持一定的靜壓差,靜壓差應符合下列規定:

      (1)各潔凈室(區)與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定;

      (2)不同等級的潔凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa;

      (3)潔凈室(區)與非潔凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa;

      (4)潔凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。

7. 潔凈室(區)維持靜壓差值所需的壓差風量,宜采用縫隙法或換氣次數法確定。

8. 送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖、控制要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

9. 非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化處理。

10. 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1~5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統,潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。

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